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本发明提供一种能够在短时间内使泵主体的温度上升到所期望的温度的真空泵。真空泵(100)包括:泵主体(6);加热器(7),设置于泵主体(6);电源装置(1),对泵供给电力;冷却器(2),设置于泵主体(6)与电源装置(1)之间;连接板(4),设置于泵主体(6)与冷却器(2)之间;第一隔热板(3),配置于冷却器(2)与连接板(4)之间;以及第二隔热板(5),配置于泵主体(6)与连接板(4)之间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112727787 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202010882284.7 (51)Int.Cl.
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