一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法.pdf

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本发明公开一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，升降辅助工装包括控制装置、连接组件及开关组件，连接组件包括电源连接线以及信号传输线，电源连接线和信号传输线的一端均与控制装置电连接，电源连接线和信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，开关组件与控制装置电连接，以控制电源连接线和/或信号传输线的通断，实现通过电源连接线为掩膜板承载台断电后重新供电，控制装置通过信号传输线传输解除自锁的信号，使得掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节，从而便于清

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115755537 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211496198.8 (22)申请日 2022.11.25 (71)申请人江苏卓胜微电子股份有限公司地址