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本发明涉及可缩减工序时间的基板处理装置,本发明的基板处理装置包括:分度室,设置有装载、卸载基板的移送机器人;工序室,设置有对基板进行加热的加热单元,对基板进行工序处理;负载锁定室,配置于上述分度室与上述工序室之间;以及搬送室,形成于上述工序室与上述负载锁定室之间,设置有用于移送基板的搬送机器人,在上述搬送机器人设置有对工序处理前状态的基板进行预先加热的预先加热单元。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112735976 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011174824.2
(22)申请日 2020.10.28
(30)优先权数据
10-2019-0
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