一种用于监控微生物生长的二氧化碳传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种用于监控微生物生长的二氧化碳传感器及其制备方法.pdf

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本发明一种用于监控微生物生长的二氧化碳传感器及其制备方法，属于二氧化碳传感器及其制备方法技术领域；所要解决的技术问题为：提供一种用于监控微生物生长的二氧化碳传感器硬件结构的改进；解决上述技术问题采用的技术方案为：在蓝宝石衬底上外延生长n型氮化镓层，采用一系列电极制备工艺在氮化镓外延片上沉积Ti/Al/Pt/Au电极，后通过液相剥离黑磷以及对黑磷进行功能化改性制备BP‑PEI层，获得了高灵敏度、可实时操作的小型化二氧化碳气体传感器；本发明二氧化碳传感器性能稳定，对二氧化碳气敏性能良好且价格低廉，尺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112730534 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110090014.7 (22)申请日 2021.01.22 (71)申请人太原理工大学地址