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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种用于车载雷达的高功率VCSEL及其制备方法，本发明的高功率VCSEL包括沿生长方向依次生长的GaAs衬底、GaAs缓冲层、N型DBR层、五层有源层、氧化层、P型DBR层和P型GaAs层；所述VCSEL总腔长为5个腔长的整数倍。本发明使用隧穿结实现五个有源层串联，并且通过设计特定的腔长，提高了单位面积内的功率，实现更高功率；同时通过设计不同的势垒高度，解决载流子移动距离，提高辐射复合几率，增加粒子数反转，提高输出功率；通过生长厚度的设计，提高增益，改善驻波场，提高输出功率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112736644 B
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202110337080.X H01S 5/32 (2006.01)
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