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2023-06-05 发布于四川
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一种碳化硅粉投料方法及装置与应用.pdf

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本发明提供了一种碳化硅粉投料方法及装置，该方法包括以下步骤：(1)将待填料容器移至于投料装置内；(2)向投料装置内通入保护气，在保护气气氛下，通过投料装置上的进料通道向待填料容器进料；保护气选自氢气和惰性气体中的至少一种；该装置包括投料腔体，投料腔体上开设有进气口，进气口连接有保护气管路；投料腔体上安装有进料通道，进料通道贯穿投料腔体顶部并延伸到投料腔体内部。通过在流通有保护气的投料装置内进料，可有效隔绝空气中的氮气在坩埚或者碳化硅原料中的吸附，并通过优化保护气的流量等参数，保证碳化硅粉料中的氮

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112725887 B (45)授权公告日 2022.04.08 (21)申请号 202011545378.1 审查员郭晓静 (22)申请日 2020.12.23

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