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一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统.pdf

    本发明提供一种基于光载微波干涉的液膜厚度测量系统，其特征在于：包括宽带载波光源(1)、频率可调谐微波源(2)、电光调制器(3)、光放大器(4)、第一1×2多模光纤耦合器(5)、自聚焦透镜(6)、凸透镜(7)、光耦合透镜(8)、多模传输光纤(9)、第二1×2多模光纤耦合器(10)、高速光电探测器(11)、锁相放大器(12)、矢量微波探测器(13)和计算机(14)。本发明能够实现对液膜厚度的高精度测量。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112747682 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202011528377.6 (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.22

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