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电源供应装置、半导体工艺系统与电源管理方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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电源供应装置、半导体工艺系统与电源管理方法.pdf

    提供一种电源供应装置，包括电源单元、电源感测器以及控制单元。电源单元包括并联配置的第一电源供应器以及第二电源供应器，两者分别提供第一输出电源以及第二输出电源至半导体工艺设备。电源感测器感测第一输出电源以及第二输出电源的一输出参数是否小于预设值。当第一输出电源及第二输出电源的该输出参数中的一者小于预设值时，电源供应装置进入一紧急备援模式。控制单元使得第一电源供应器及第二电源供应器的另外一者提供一备用电源至半导体工艺设备。备用电源的该输出参数大于第一输出电源以及第二输出电源的该输出参数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112751406 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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