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一种导流均流装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种导流均流装置.pdf

    本发明涉及光刻设备技术领域，公开一种导流均流装置。所述导流均流装置包括均流组件和导流组件，均流组件包括罩壳，罩壳安装于风机末端空间壁面上，导流组件设置于罩壳内，且罩壳的表面上开设有多个均流孔。风机出风从风机末端空间壁面流入罩壳内，并在导流组件的导流下，从多个均流孔中流出，使得该导流均流装置实现导流和均流的双重作用，保持风机末端静压腔压力和温度均匀，提高光路的均匀性，且提高换热效率，保护光刻设备中部件不受损坏，延长部件的使用寿命。本发明中的导流组件包括导流板，导流板角度可调地设置于风机末端空间壁面

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112748642 B (45)授权公告日 2022.06.21 (21)申请号 201911056713.9 (51)Int.Cl.

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