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2023-06-05 发布于四川
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一种超表面的制作方法.pdf

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本发明公开了一种超表面的制作方法。对衬底表面进行预处理；在衬底上形成一层基底层；在基底层上形成一层金属层；在金属层上形成亚波长纳米表面的图像转移层；依次对亚波长纳米表面的图像转移层、金属层、基底层进行刻蚀，直至将图像转移层上的亚波长纳米表面图形转移到基底层，并且在衬底表面上也得到亚波长纳米结构区；在上述衬底表面的亚波长纳米结构区上形成氮化硅材料的亚波长纳米结构超表面；去除衬底表面残留的基底层及基底层表面的氮化硅材料。本发明方法实现了超表面的制备，解决了光刻、刻蚀技术不能对刻蚀制备特殊超表面材料的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112723305 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011561301.3 (22)申请日 2020.12.25 (71)申请人杭州欧光芯科技有限公司

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