Al3+、Ga3+、Ag+掺杂ZnO基电热膜、制备装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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Al3+、Ga3+、Ag+掺杂ZnO基电热膜、制备装置及方法.pdf

本发明公开了一种电热膜,提供了一种制备过程安全环保,成本低,电热膜导电性好、透过率高、膜层厚度均匀且可调,质量高的Al3+、Ga3+、Ag+掺杂ZnO基电热膜、制备装置及方法,解决了现有技术中存在的电热膜制备过程会产生大量的酸雾,污染严重,且膜层质量差,功率衰减严重等的技术问题,电热膜结构式为Zn1‑xMxO,制备装置包括箱体及设于箱体上的电机,电机带动箱体内的石英管基底转动,在所述箱体内设有加热模块,与石英管基底对应的箱体上设有超声喷头和前驱液入口,超声喷头使来自前驱液入口的前驱液雾化并均匀的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752360 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202010828512.2 (22)申请日 2020.08.17 (71)申请人 杭州热威电热科技股份有限公

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