原创力文档- 1
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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供了一种电子级高纯氢净化工艺，采用净化装置对原料气进行除氩气，包括以下步骤：将原料气通入PSA1，得到产品气，PSA1的尾气经过第一压缩机压缩后通入PSA2，再与PSA1的产品气在第三缓冲罐内混合后通入PSA3，得到产品气氢气，PSA3的尾气经过第二压缩机压缩后通入PSA4，得到产品气氢气，PSA4的尾气回到第一压缩机入口的第一缓冲罐内再利用，PSA2的尾气汇总排放。本发明的产品纯度提高，达到电子级，运用领域更加广泛；将解析气回收再提纯，大大增加装置回收率，减少浪费；装置经济、占地面积小
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115738593 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211474444.X
(22)申请日 2022.11.23
(71)申请人 南京宝雅气体有限公司
地址 210
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