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负光阻及其显影的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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负光阻及其显影的方法.pdf

    本揭露提供一种负光阻及其显影的方法。例如；负光阻包含溶剂、溶解抑制剂以及聚合物。聚合物包含一个羟基。聚合物占负光阻总重的40重量百分比以上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748637 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011154513.X G03F 7/32 (2006.01) (22)申请日 20

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