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用于经时击穿测试的探针卡及经时击穿测试方法.pdfVIP

用于经时击穿测试的探针卡及经时击穿测试方法.pdf

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    本发明涉及芯片测试领域，提供一种用于经时击穿测试的探针卡以及经时击穿测试方法。所述用于经时击穿测试的探针卡包括：印制电路板以及设置于所述印制电路板的探针，所述印制电路板设有用于输入经时击穿测试信号的输入端，还包括限流元件，所述探针的第一端通过所述限流元件连接所述印制电路板的输入端，所述探针的第二端用于输出所述经时击穿测试信号。本发明通过限流元件吸收器件栅氧化层被击穿时的瞬间大电流，防止器件内部的其它结构被损坏(击穿)，这种情况下器件处于早期损坏，容易确定早期损坏故障点的位置，有助于确定可靠性失效

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731073 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011455731.7 (51)Int.Cl.

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