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一种硅片表面清洁装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种硅片表面清洁装置和方法.pdf

    本发明公开了一种硅片表面清洁装置和方法。该装置包括：包括液滴对外接口、液滴吸附槽本体、中间连接件、正压喷气口本体和正压对外接口；所述液滴对外接口的第一端与所述液滴吸附槽本体的液滴抽取端连接，用于抽取所述液滴吸附槽本体内的液滴；所述液滴吸附槽本体朝向待除液硅片背面的一侧设置有液滴收集开口；所述液滴吸附槽本体用于通过所述液滴收集开口收集所述待除液硅片背面的液滴；所述正压喷气口本体通过所述中间连接件与所述液滴吸附槽本体连接，所述中间连接件与所述正压喷气口本体的连接处在朝向待除液硅片背面的一侧形成喷气开

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750719 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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