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本申请涉及一种叠加式薄片卡盘,涉及夹具,其包括安装座,作为承载主体;膜片盘,设置于安装座上,其一侧表面设置有变形槽,变形槽使膜片盘上形成外盘圈和内盘圈;驱动器,设置于安装座上,且用于驱使膜片盘的内盘圈和/或外盘圈沿膜片盘的轴向产生弯曲;夹头盘,安装于膜片盘上,其上设有若干用于对工件进行夹持的夹块,所述夹块在夹头盘上包围形成用于供工件放入的装夹口;定位盘,设置于驱动器上,且位于装夹口内,用于校正工件的装平度。本申请通过膜片盘的弯曲形变进行驱动的夹块能够具有极高的运动同步性,使得装夹口的口径变化具有
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112719329 B
(45)授权公告日 2022.01.11
(21)申请号 202011545918.6 B23B 31/30 (2006.01)
(22)申请日
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