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一种激光织构仿生电容式柔性压力传感器及其制备方法，属于柔性压力传感器领域。仿生电容式柔性压力传感器从上至下依次包括上电极柔性基底、上电极导电层、柔性电介质层和下电极薄膜，所述上电极导电层为海绵状疏松多孔结构导电材料，所述柔性电介质层的A面为集成仿生蝴蝶鳞片层叠结构和仿生蛾眼结构阵列；所述柔性电介质层的B面为微孔结构阵列，所述柔性电介质层在传感器组装中A面在上，B面在下。通过激光对两种仿生结构进行织构，有效提升压力传感器的灵敏度和线性范围，制备方法简单、模板可控、加工速度快、重复性好、模板可重复使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112729625 B
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202011563295.5 CN 109186817 A,2019.01.11
(22)
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