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一种提高金刚石/铜界面热导的表面改性方法.pdfVIP

一种提高金刚石/铜界面热导的表面改性方法.pdf

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    本发明涉及一种提高金刚石/铜界面热导的表面改性方法，该方法为：选取富含金刚石(100)面的金刚石片，先采用氩离子对其表面进行轰击，然后通过磁控溅射的方式在其表面镀铜膜。与现有技术相比，本发明提供一种低成本、简易的提升金刚石/铜界面热导的手段，进而提升金刚石/铜复材的热导率，本发明无需添加中间层结构，节省了原材料，简化了工艺工程。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112708863 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 202011493238.4 审查员 曹旭 (22)申请日 2020.12.16

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