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- 2023-06-05 发布于四川
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本揭露提供一种极紫外线微影装置及其使用方法。在范例中，一种极紫外线微影装置包含极紫外线光源和照明器。配置的极紫外线光源产生极紫外线光束以图案化基材上的光阻层。配置的照明器引导极紫外线光束至光罩表面上。在范例中，照明器包含场分面镜和光瞳分面镜。场分面镜包含第一组刻面的配置以分裂极紫外线光束成数个光通道。光瞳分面镜包含第二组刻面的配置以引导数个光通道至光罩表面上。第二组刻面在光瞳分面镜边缘处的分布密度高于在光瞳分面镜中心处。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112748643 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011081893.9 G03F 1/22 (2012.01)
(22)申请日 20
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