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包含阶梯结构的微电子装置以及相关存储器装置和电子系统.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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包含阶梯结构的微电子装置以及相关存储器装置和电子系统.pdf

    本申请案涉及包含阶梯结构的微电子装置以及相关存储器装置和电子系统。微电子装置包括堆叠结构、至少一个阶梯结构、接触结构和支撑结构。所述堆叠结构包括布置于层次中的竖直交替的导电结构和绝缘结构，所述层次中的每一个分别包括所述导电结构中的一个和所述绝缘结构中的一个。所述至少一个阶梯结构处于所述堆叠结构内并且具有包括所述层次中的至少一些的边缘的台阶。所述接触结构处于所述至少一个阶梯结构的所述台阶上。所述支撑结构沿第一水平方向与所述接触结构水平交替并且竖直延伸穿过所述堆叠结构。所述支撑结构具有长椭圆形水平横

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750837 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011089954.6 (22)申请日 2020.10.13 (30)优先权数据

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