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本发明提供了一种N极性氮化物模板、N极性氮化物器件及其制备方法,N极性氮化物模板包括:衬底;插入层;氮化物层;其中,插入层的材料为过渡金属二硫属化合物。本申请的氮化物模板,包括过渡金属二硫属化合物,其具有二维的层状结构,由上下两层S原子中间夹一层过渡金属原子构成,这种材料具有较好的热稳定性及化学稳定性,适用于氮化物材料外延生长过程的高温条件和气体氛围,对于传统的蓝宝石衬底,通过插入薄层的过渡金属二硫属化合物可以有效调控氮化物材料的原子吸附能,同时过渡金属二硫属化合物在大尺寸范围提供连续、稳定的S
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112786751 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202110068061.1 H01L 33/00 (2010.01)
(22)申请日 2
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