一种高密度MOM电容器结构及其设计方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种高密度MOM电容器结构及其设计方法.pdf

一种高密度电容器结构的设计方法,高密度电容器结构是一种新型金属‑氧化物‑金属(MOM)电容结构,本发明可以通过改变转向次数、组数量及重构方式来改变电容容值,具有高可扩展、高电容密度、光刻误差小的特点。应用于需要高密度或高精度集成电容的场合中,比如开关电容电路、采样保持电路、仪表放大器等。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112768607 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202011644044.X (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.31

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