ARC镀膜生产线的传送系统.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供了ARC镀膜生产线的传送系统,ARC镀膜生产线包括多个依次连接的箱体,多个箱体依次连接形成U形通道,所述传送系统包括多组传送组件,每个箱体内布置一组传送组件,多组传送组件依次连接形成U形传送路径,每组传送组件包括传动架、电源、传动电机、传动带和传动组件,待镀膜的基片安装在基片架上,基片架架设在传动组件上,传动组件带动所述基片架沿着所述U形传送通道运行。本发明传送路径沿着U形传送通道布置,多个传送组件和传动电机沿着传送路径均匀布置,使传送带均匀受力、传送平稳,基片架同时架设在至少两个内传

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112795892 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201911110614.4 (22)申请日 2019.11.14 (71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司

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