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本发明公开一种化学机械抛光检测装置及其检测方法，涉及化学机械抛光技术领域，包括对透明的工件进行夹持的工件夹持部、用于带动抛光垫转动的驱动部及其用于对抛光垫的表面形貌进行图像采集的图像采集部，工件加持部上设置有压力传感器，压力传感器用于测量工件在抛光压力作用下由于法向位移而产生的法向压力；本发明利用图像采集装置实时捕捉抛光界面间抛光垫的表面形貌，结合对抛光界面受力情况的监测，能够分析得到抛光垫表面摩擦系数变化情况，及其摩擦系数变化与研磨颗粒分布变化、磨损变化等参数之间的关系，解决了无法将抛光界面磨
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112743445 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202110141359.0 B24B 41/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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