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- 2023-06-06 发布于四川
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本申请实施例提供了一种晶片传输装置。晶片传输装置包括传输本体、定位组件和驱动组件；传输本体的第一表面用于放置托盘，传输本体的第二表面用于连接定位组件，其中，第一表面和第二表面为传输本体相对的两个表面；定位组件包括多个定位点，驱动组件和定位组件驱动连接，驱动组件用于驱动定位组件移动，以使托盘限位在多个定位点围成的限位区域中。这样，在传输本体转运托盘的过程中，可以确保托盘始终处于多个定位点围成的限位区域内，保证托盘相对于传输本体的位置不会发生偏移，进而保证薄膜沉积工艺的正常进行，从而提高薄膜沉积工艺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768392 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110019935.4
(22)申请日 2021.01.07
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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