原创力文档- 8
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- 2023-06-06 发布于四川
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本申请涉及一种纳米薄膜静电疲劳测试方法，属于纳米薄膜静电测试方法技术领域。纳米薄膜静电疲劳测试方法包括提供纳米薄膜；提供电极板；提供位移传感器；提供直流电压源；提供绝缘支撑件，绝缘支撑件具有检测通孔；将绝缘支撑件支撑于纳米薄膜和电极板之间，使电极板位于检测通孔的下方，纳米薄膜覆盖于检测通孔的上方且与电极板平行设置，将直流电压源的正极与纳米薄膜电连接，将直流电压源的负极与电极板电连接；启动直流电压源，通过位移传感器测量纳米薄膜向检测通孔内凹陷的位移量。该纳米膜静电疲劳测试方法，易操作、对纳米薄膜无
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112763359 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011616285.3
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 松山湖材料实验室
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