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本发明公开了一种基于亚波长光栅的LNOI模斑转换器，包括：顶层锥形波导、底层锥形波导、锥形亚波长光栅、SiO2倒锥形厚脊波导包层、SiN亚波长光栅薄层和光纤固定槽；制备方法涉及的工艺包括：顶层锥形波导和底层锥形波导制备、锥形亚波长光栅制备、SiO2倒锥形厚脊波导制备、SiN亚波长光栅制备、光纤固定槽制备。本发明采用双层锥形波导结合锥形亚波长光栅、SiN亚波长光栅和SiO2倒锥形厚脊波导的结构，通过调节波导芯层以及包层的有效折射率，实现LNOI光波导中小尺寸光模场的放大功能，进而提高LNOI光波导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112782805 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202011603932.7 (51)Int.Cl.
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