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一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法.pdf

    本申请涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法。提供衬底基板，采用第一道光罩工艺在衬底基板上形成扫描线、栅电极、公共电极金属线；其次，沉积第一绝缘层、半导体层、第二金属层，采用第二道光罩工艺形成硅岛、数据线、源电极、漏电极；再次，沉积第二绝缘层，采用第三道光罩工艺形成过孔层；最后，沉积透明导电层，采用第四道光罩工艺形成像素电极和公共电极。其有益效果在于：本申采用4道工艺可以制成IPS型薄膜晶体管阵列基板；通过减少光罩数，实现工艺流程缩短了，提高了生产效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768405 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110060598.3 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人 信利（惠州）智能显示有限公司

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