1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

间隔物刻蚀工艺.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.88万字
  • 约 24页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报

间隔物刻蚀工艺.pdf

    提供了用于处理工件的系统和方法。在一个实施例中，方法包括将工件放置在处理腔室中的工件支撑体上。工件具有至少一个材料层和其上的至少一种结构。该方法包括允许工艺气体进入等离子体腔室中，由工艺气体产生一种或多种物质，并且过滤所述一种或多种物质以产生过滤后的混合物。该方法还包括向偏压电极提供射频功率以产生第二混合物，并且将工件暴露于第二混合物以刻蚀材料层的至少一部分并且在材料层的至少一部分上形成膜。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112771650 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 202080005249.5 (73)专利权人 玛特森技术公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >