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一种基于时序控制的二维光栅高效制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种基于时序控制的二维光栅高效制造方法.pdf

    一种基于时序控制的二维光栅高效制造方法，先清洗导轨上表面，然后涂布光刻胶；再打开线光源预热，将导轨放置在匀速移动平台上，把掩膜版和时序开关依次布置在导轨上方；导轨匀速运动，通过时序信号控制时序开关的通断，从而控制线光源是否对光刻胶进行曝光，实现用时序信号与导轨速度控制栅距；然后配置显影液，将曝光后的导轨放入显影液中显影；最后对显影后的导轨进行刻蚀，然后去除光刻胶，得到导轨共体二维光栅；本发明直接在导轨表面制造二维光栅，降低光栅与导轨粘贴的不稳定性以及装配误差；利用时序信号的精确时间插分实现光栅栅

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764145 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110135180.4 (22)申请日 2021.02.01 (71)申请人 西安交通大学 地址

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