原创力文档- 16
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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供了一种MEMS传感器及其制作方法，MEMS传感器包括：基板与盖板；基板包括MEMS结构、围绕MEMS结构设置的第一焊接区，以及位于第一焊接区的第一焊接环；盖板包括第二焊接区，以及位于第二焊接区的第二焊接环；基板与盖板通过第一焊接环与第二焊接环焊接在一起形成密封结构，以将MEMS结构限定在真空腔体内；第一焊接区与第二焊接区中的至少一个具有沿周向分布的环状凹槽或环状凸起，第一焊接环保形地位于第一焊接区上，第二焊接环保形地位于第二焊接区上。根据本发明的实施例，可降低气体的漏率，提高MEMS传
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112758883 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110082211.4
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 杭州海康微影传感科技有限公司
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