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拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统.pdfVIP

拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统.pdf

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    本发明提供一种拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统。所述拾取器保持基板和聚焦环，所述拾取器具有多个突起部，所述多个突起部保持基板的外周缘部，所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786428 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202110190340.5 (22)申请日 2017.07.13 (30)优先权数据

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