等离子体处理系统、搬送方法以及处理系统.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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等离子体处理系统、搬送方法以及处理系统.pdf

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本发明提供一种等离子体处理系统、搬送方法以及处理系统。等离子体处理系统具备：工艺模块；传递模块，其与所述工艺模块连接；搬送装置，其设置于所述传递模块的内部，用于从所述传递模块向所述工艺模块搬送基板和聚焦环；以及位置检测传感器，其在通过所述搬送装置搬送的所述基板和所述聚焦环的搬送路径上设置于能够检测所述基板的外周缘部和所述聚焦环的内周缘部的位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786429 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202110190351.3 (22)申请日 2017.07.13 (30)优先权数据