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一种钯薄膜氢气传感器.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种钯薄膜氢气传感器.pdf

    本发明公开了一种钯薄膜氢气传感器，包括硅衬底、绝缘层、至少一个硅槽、钯合金薄膜组件、屏蔽层与控温组件；其中，钯合金薄膜组件包括对称设置的第一钯合金薄膜与第二钯合金薄膜；屏蔽层位于绝缘层上，并且还开设吸收窗口，吸收窗口与第一钯合金薄膜对应设置，用于供第一钯合金薄膜与氢气接触；控温组件包括加热线圈与测温线圈，测温线圈用于检测钯合金薄膜组件周围的温度，加热线圈用于升高钯合金薄膜组件周围的温度；硅槽与绝缘层相配合用于对钯合金薄膜组件保温。本发明采用对氢气敏感度高的钯合金，同时引入惠斯通电桥，大大提升了检

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112763660 B (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202011581593.7 审查员 周洁 (22)申请日 2020.12.28

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