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一种改善金属电极形貌的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种改善金属电极形貌的方法.pdf

    本发明提供了一种改善金属电极形貌的方法，包括沉积金属薄膜、光刻显影、热处理和刻蚀的步骤，制备得到金属薄膜样品，通过在金属薄膜样品表面设置光刻胶层的微结构图案，然后调节光刻胶层的厚度、热处理的温度和时间等，能够实现光刻胶的尖角和侧壁的陡直度连续可调的效果，然后通过成熟的刻蚀工艺将光刻胶的形貌全部或局部的传递到下层的金属薄膜，能够实现金属薄膜样品的侧壁陡直角度可以大范围的调节，还可以避免尖角导致的电荷聚集的问题，有利于上层功能化的薄膜层等的制作，有利于多层功能器件的制备，且工艺方法简单和现有的生产线

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768353 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011581872.3 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人 深圳清华大学研究院 地

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