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一种衍射光栅干涉光路合束装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种衍射光栅干涉光路合束装置及方法.pdf

    本发明涉及衍射光干涉测量系统技术领域，特别是涉及一种衍射光栅干涉光路合束装置及方法。包括激光器、平凸透镜、光电接收器、不规则五角棱镜组、衍射光栅。所述平凸透镜安装于所述激光器的前端，所述不规则五角棱镜组安装于所述平凸透镜的前端，所述衍射光栅安装于所述不规则五角棱镜组的前端，所述激光器、平凸透镜、不规则五角棱镜组、衍射光栅的中心在一条直线上，两个所述光电接收器分别对称安装于不规则五角棱镜组靠近所述平凸透镜的两个平面上。本发明利用不规则五角镜对称安放，实现同级衍射光准确发生干涉，将两个五角镜的接触面

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115755420 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211173231.3 (22)申请日 2022.09.26 (71)申请人 北京航天计量测试技术研究所 地址

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