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预防高深宽比结构的黏滞和/或对其修补的含氟化氢、醇及添加剂的气体混合物.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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预防高深宽比结构的黏滞和/或对其修补的含氟化氢、醇及添加剂的气体混合物.pdf

    一种用于处理衬底处理系统中的衬底的气体混合物包括氟化氢气体、醇的蒸气、由碱类构成的添加剂、及载体气体。该气体混合物可用于处理被配置在衬底的表面上的高深宽比(HAR)结构。可使用第一冲洗液体来旋转冲洗衬底的表面。该第一冲洗液体从衬底的表面被旋离。在第一冲洗液体被配送之后，该气体混合物被引导到衬底的表面上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805808 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065936.3 南森 ·拉夫多夫斯基　

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