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气体流量调节装置和半导体加工设备.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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气体流量调节装置和半导体加工设备.pdf

    本发明提供一种气体流量调节装置和半导体加工设备，该气体流量调节装置包括：底座结构，在底座结构中设置有气体通道；活塞部件，可移动地设置在底座结构中，用以通过在指定方向上移动来调节气体通道的通气截面面积；旋转驱动源的驱动轴包括位于旋转驱动源外部的连接部分；以及传动结构，其旋转件与驱动轴的连接部分连接，且与移动件螺纹连接，限位组件与移动件连接，用以在旋转件随驱动轴旋转时，限制移动件旋转，以使移动件能够相对于旋转件沿指定方向移动；移动件与活塞部件连接。本发明提供的气体流量调节装置和半导体加工设备，无需对

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768380 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110060548.5 (22)申请日 2021.01.18 (71)申请人 北京七星华创流量计有限公司

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