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射频MEMS开关器件及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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射频MEMS开关器件及其制作方法.pdf

    提供了一种射频MEMS开关器件，其包括：衬底；设置于所述衬底上的信号线、地线以及第一电极，所述信号线与所述地线彼此间隔，并且与所述第一电极连接；设置于所述第一电极上方以与所述第一电极面对的第二电极，所述第二电极与所述第一电极彼此间隔；连接所述第二电极和所述地线的铰链；其中，所述铰链、所述第二电极、所述信号线以及所述地线同时形成。还提供了一种射频MEMS开关器件的制作方法。本发明的射频MEMS开关器件及其制作方法，将共面波导与上电极同时构建形成，如此可以简化制作工艺。此外，由于共面波导与上电极同时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768261 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011610534.8 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿

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