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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供有利于高精度地测量载置台的位置的定位装置、曝光装置以及物品的制造方法。进行板的定位的定位装置包括：载置台，能够保持所述板并在第1方向上移动；以及测量部，在所述第1方向上射出光，并基于由设置于所述载置台的上表面之上的反射构件反射的光，测量所述载置台在所述第1方向上的位置，所述载置台在所述第1方向上的所述板与所述反射构件之间具有壁部，该壁部用于减少因所述载置台向所述第1方向的移动而所述板的周围的气体侵入到所述测量部的光路的情形，所述壁部构成为其上端比所述板的上表面高，且与所述板以及所述反射
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112764319 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011134936.5
(22)申请日 2020.10.21
(30)优先权数据
2019-1921
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