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本发明涉及一种基于谐振器的刻蚀终点检测系统，包括谐振器，被放置在刻蚀腔体中并与待刻蚀样品一起被刻蚀；检测器，与所述谐振器相连接，用于检测并输出所述谐振器的参数；和比较器，与所述检测器相连接，用于接收并比较所述谐振器的参数与预设值。与激光干涉和物质光谱检测系统相比，谐振器与样品处于相同环境中，而且与样品材料相同，因而该系统具有的更高的检测精度。在该检测系统中，与激光干涉检测系统相比，检测位置放在被刻蚀样品以外区域，增加了样品有效面积；与物质光谱检测系统相比，信号采集与样品刻蚀独立，可以实现更小刻蚀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112820661 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011619730.1
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 中国科学院物理研究所
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