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本发明公开一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法,该红外探测器包括:衬底,设有隔热腔体;支撑层,形成于衬底的上表面;热电堆单元,形成于支撑层上,从下至上依次包括第一热偶层、第一绝缘层和第二热偶层,且第一、第二热偶层通过第一绝缘层中的第一接触孔连接;第二绝缘层、电磁屏蔽层、红外吸收层,依次形成于热电堆单元上,且对红外吸收层和第二绝缘层局部刻蚀出第二接触孔。本发明通过在红外吸收层下方设置可接地的电磁屏蔽层,实现电磁屏蔽,从而有利于减小测量误差,提高探测器的可靠性;此外,该电磁屏蔽层还可对被测物体产
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112802956 B
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202110380036.7 B81B 7/02 (2006.01)
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