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一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法.pdfVIP

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  • 2023-06-07 发布于四川
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一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法.pdf

    本发明涉及单晶硅生产加工设备技术领域，具体地说，涉及一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法，包括引晶箱，引晶箱上安装有下料漏斗，引晶箱内底部安装有加热座，加热座的顶部安装有坩埚，下料漏斗的出料口正对坩埚的进口处，引晶机构包括两个对称嵌设于引晶箱内壁上的升降气缸，每个升降气缸的活塞杆顶部安装有固定杆，两个固定杆之间安装有单晶硅夹头，单晶硅夹头的底部安装有单晶硅。本发明通过引晶机构能够方便将单晶硅向上缓慢提拉，使得单晶硅带动多晶硅原料向上拉伸，保证引晶操作的稳定进行，生产效率高，通过引晶方法能够方

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112831831 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110026220.1 (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人 浙江旭盛电子有限公司

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