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本发明提供了一种大尺度超滑器件及其加工方法,其包括至少两个超滑片,和设于所述超滑片顶部的连接层,所述连接层具有粘结区和加高区,所述粘结区位于相邻的两个超滑片之间,所述加高区位于所述超滑片的上方,所述粘结区的下表面高于所述超滑片的底面,能够将不同高度的超滑片转移到同一平整的基底上之后,通过粘结剂将若干个零散的超滑片连接成一个大尺寸的超滑器件,不仅能够应用于大尺寸需要超滑的器件中,且可以连接层还可以为柔性的衬底,能够形成为柔性超滑片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112794277 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011581932.1
(22)申请日 2021.03.05
(71)申请人 深圳清华大学研究院
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