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微流体致动器的制造方法.pdfVIP

微流体致动器的制造方法.pdf

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    一种微流体致动器的制造方法，包含以下步骤：1.提供通过互补式金属氧化物半导体(CMOS)制程出的流道主体；2.以沉积、光刻及蚀刻制出致动单元；3.蚀刻制出至少一个流道；4.以光刻、蚀刻制程制出一振动层及一中心通孔；5.提供一孔板层，蚀刻孔板层以制出至少一个流道出口，以及滚压成型干膜材料于孔板层，借此定义出一腔室；6.覆盖对位及热压接合孔板层与流道主体，以构成该微流体致动器整体结构。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112808330 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 201911127817.4 (56)对比文件

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