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本发明提供一种微制像设备及其加工方法，包括：一投影装置，用以提供形成有一图案的多个光束；一准直元件，用以将该多个光束形成多个准直光束；一缩光元件，用以将该多个准直光束形成多个缩光光束；以及一聚焦元件，用以将该多个缩光光束形成多个聚焦光束，以将该多个聚焦光束所形成的该图案成像在目标物上，避免使用传统制程中的光罩，以降低制程成本，且提高制程效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112824974 A
(43)申请公布日
2021.05.21
(21)申请号 20191
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