一种效率高的自动化晶圆线切割装置.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种效率高的自动化晶圆线切割装置.pdf

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本发明涉及一种效率高的自动化晶圆线切割装置，包括底座、支杆、横杆、操作台、移动机构和切割机构，所述驱动机构设置在底座上，所述限位机构设置在横杆上，所述切割机构设置在限位机构上，该效率高的自动化晶圆线切割装置，通过移动机构实现切割机构的水平方向和竖直方向的间歇移动，通过切割机构实现工件的切割，与现有的移动机构相比，该机构通过一个输出端，实现了切割机构的两个方向上的移动，节省了能源，通过，同时该机构采用纯机械结构，避免了传感器等电子元件的使用，提高了装置的稳定性和使用寿命，且该机构通过第二弹簧和第三

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112829095 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110091784.3 (22)申请日 2021.01.23 (71)申请人南京安特鲁新能源技术开发有限公