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- 2023-06-07 发布于四川
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本申请提出了一种驱动电路板的制作方法，包括：在衬底上形成薄膜晶体管层，薄膜晶体管层包括至少一薄膜晶体管；在薄膜晶体管层上形成第一金属层以及第一无机层；去除至少部分位于第一金属层远离衬底一侧的第一无机层，以形成第一端子。本申请通过在第一金属层上形成第一无机层，第一无机层在制程中保护了第一金属层，避免了第一金属层由于制程工艺导致的氧化、腐蚀，提高了驱动电路板的产品质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112838051 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110005492.3
(22)申请日 2021.01.05
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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