对准方法及对准系统.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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对准方法及对准系统.pdf

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本发明提供了一种对准方法，包括：调整图像采集部，使两个基板相对，通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息，通过主控部将经过核对计算得到的校准信息发送至校准装置的导向部，所述导向部根据所述校准信息进行补偿调整。本发明的对准方法在键合前通过所述图像采集部同时采集所述两个基板的初始边缘位置信息和初始特征标记位置信息后发送至主控部进行所述核对计算，保证了采集的对应位置信息的准确性，结合所述主控部将经过所述核对计算得到的校准信息发送至所述校准装置的导向部，所述导向部根

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838038 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110140288.2 (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司