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本发明公开了一种GaSb/Ge2Sb2Te5类超点阵相变材料及其制备方法，GaSb/Ge2Sb2Te5类超点阵相变材料为多层复合膜结构，由GaSb层和Ge2Sb2Te5层交替沉积复合而成，将一层GaSb层和一层Ge2Sb2Te5层作为一个交替周期，后一个交替周期的GaSb层沉积在前一个交替周期的Ge2Sb2Te5层上方；本发明中GaSb/Ge2Sb2Te5类超点阵相变材料设计合理，兼具单层Ge2Sb2Te5层和GaSb层薄膜的优势，具有热稳定性好、功耗低和硬度高等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802962 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011612083.1
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 无锡日
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